지적 재산권

[2023 한국광학회 동계학술대회] 미세 패턴의 삼차원 형상 측정을 위한 통합 광계측 시스템

[2022 SPIE Optics & Photonics] Absolute distance measurement using polarization-based spectral-do

[2022 한국정밀공학회 춘계학술대회] 미세 TSV의 삼차원 형상 측정을 위한 광계측 시스템 개발

[2022 한국광학회 동계학술대회] Thickness Measurement Using a Combined Interferometric Method in a Large Dynami

[2021 한국정밀공학회 추계학술대회] 멀티스케일 범위의 두께 측정을 위한 광간섭계 개발