본문 바로가기 주메뉴 바로가기

제품

Home

계측 센서

㈜미터랩의 t-Nova 시리즈는 비접촉식, 고해상도, 고속 두께 측정을 위한 토털 솔루션을 제공합니다.
자사 분광기 s-Nova, 광원, 컨트롤러, 소프트웨어가 통합되어 있으며, 분광 간섭 방식을 기반으로 동작합니다.

  • R 모델은 시편에서 빛이 반사하여
    측정하는 '반사형' 구조입니다.
  • T 모델은 시편에서 빛이 투과하여
    측정하는 '투과형' 구조입니다.
  • TN 모델은 물리적 두께와 굴절률을
    동시에 측정하는 시그니처 모델입니다.
두께
형상
거리
성분 분류
모델명 측정 방식 측정량 측정 범위 측정 속도 측정 분해능 측정 정밀도 측정 불확도 분광 모듈
t-Nova-525R 포인트 두께 50 nm - 200 μm 250 kHz 0.1 nm 0.1 nm 2.1 nm s-Nova-525
t-Nova-850R 포인트 두께 6 μm – 1.2 mm 250 kHz 10 nm s-Nova-850
t-Nova-850T 포인트 두께 6 μm – 1.2 mm 250 kHz 10 nm s-Nova-850
t-Nova-850TN 포인트 두께 6 μm – 1.2 mm 250 kHz 10 nm s-Nova-850
t-Nova-1550R 포인트 두께 20 μm – 3 mm 40 kHz 10 nm s-Nova-1550
t-Nova-1550T 포인트 두께 20 μm – 3 mm 40 kHz 10 nm s-Nova-1550
t-Nova-840-60 포인트 거리, 두께 6 mm 250 kHz 10 nm s-Nova-840-60
t-Nova-1550-60 포인트 거리, 두께 6 mm 40 kHz 10 nm s-Nova-1550-60
t-Nova-530H 라인 두께, 형상 2 mm 200 Hz 100 nm (Thickness), 18 μm (Horizontal) s-Nova-530H
t-Nova-575H 라인 두께, 형상 5 μm - 685 μm 213 Hz 0.22 nm s-Nova-575H
t-Nova-850R-H 라인 두께, 형상 500 μm (Optical thickness), 25 mm (Measurement width) 200 Hz 50 nm (Thickness), 27 μm (Horizontal) s-Nova-850H
t-Nova-850H 라인 두께, 형상 18 μm – 1824 μm 1060 Hz 0.2 nm s-Nova-850H