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계측 센서

㈜미터랩의 t-Nova 시리즈는 비접촉식, 고해상도, 고속 두께 측정을 위한 토털 솔루션을 제공합니다.
자사 분광기 s-Nova, 광원, 컨트롤러, 소프트웨어가 통합되어 있으며, 분광 간섭 방식을 기반으로 동작합니다.

  • R 모델은 시편에서 빛이 반사하여
    측정하는 '반사형' 구조입니다.
  • T 모델은 시편에서 빛이 투과하여
    측정하는 '투과형' 구조입니다.
  • TN 모델은 물리적 두께와 굴절률을
    동시에 측정하는 시그니처 모델입니다.
두께
형상
거리
성분 분류
모델명 측정 방식 측정량 측정 범위 측정 속도 측정 분해능 측정 정밀도 측정 불확도 분광 모듈
t-Nova-525R 포인트 두께 10 nm - 200 μm 250 kHz 0.01 nm 0.02 nm 0.06 nm s-Nova-525
t-Nova-850R/T 포인트 광두께, 형상 9 μm – 1.5 mm 250 kHz 1 nm 1 nm 13 nm s-Nova-850
t-Nova-1550R/T 포인트 광두께, 형상 30 μm – 5 mm 40 kHz 1 nm 4 nm 12 nm s-Nova-1550
t-Nova-850TN 포인트 두께, 군굴절률 9 μm – 1.5 mm 250 kHz 1 nm 1 nm 13 nm s-Nova-850
t-Nova-1550TN 포인트 두께, 군굴절률 30 μm – 5 mm 40 kHz 1 nm 4 nm 12 nm s-Nova-1550
t-Nova-840-60 포인트 두께, 형상, 거리 20 μm – 6 mm 250 kHz 1 nm 1 nm 18 nm s-Nova-840-60
t-Nova-1550-60 포인트 두께, 형상, 거리 60 μm – 10 mm 40 kHz 1 nm 10 nm 13 nm s-Nova-1550-60
t-Nova-575H 라인 광두께, 형상 50 μm - 340 μm 200 Hz 0.1 nm 0.6 nm 50 nm s-Nova-575H
t-Nova-850H 라인 광두께, 형상 9 μm – 910 μm 1 kHz 1 nm s-Nova-850H
S-Module 영역측정 스테이지 110 mm (X) x 75 mm (Y) 250 mm/s 0.1 µm 0.25 µm - -
G-Module 영역측정 갈바노미러 18 mm (X) x 18 mm (Y) 175 Hz (삼각파) - - - -
M-Module 다채널 광스위치 2/4/6/8 채널 - - - - -