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논문
[제9회 정밀측정워크숍] 초고반사율 측정을 위한 공진기 감쇠 분광 기술
저자
박정재, 진종한
논문
[2026 한국정밀공학회 춘계학술대회] 생산 공정에서의 입자 도핑 박막 AI 기반 실시간 두께 측정
저자
이준영
논문
[2026 한국정밀공학회 춘계학술대회] 디스플레이 제조 공정에서의 두께 및 균열 검사를 위한 광계측 기술
저자
배재석, 박정재, 진종한
논문
[2026 한국정밀공학회 춘계학술대회] 산업용 부품 표면 형상 측정을 위한 정밀 광계측 기술
저자
박정재, 배재석, 진종한
논문
[OPTM 2026] Deep Learning-ba
sed Thin-Film Metrology on Rough Surfaces
저자
이준영, 진종한
논문
[OPTM 2026] High-Density Thickness and Surface Profile Mapping of Large-Area Patterened Wafers Using Spectral Interferometry
저자
배재석, 진종한, 안흘비
논문
[2026 nanoMan/ICMTE] Optical Metrology for Advanced Manufacturing: Our Technologies and Applications
저자
배재석, 이준영, 박정재, 진종한
논문
[2025 한국정밀공학회 추계학술대회] 거친 표면 박막 두께 측정을 위한 딥러닝 분석 기법의 적용
저자
이준영, 진종한
논문
[2025 한국정밀공학회 추계학술대회] 스마트 기기의 다층 필름 층별 두께 측정
저자
박정재, 진종한, 배재석
논문
[2025 한국정밀공학회 추계학술대회] 정밀 광두께 측정의 신뢰성 확보를 위한 분광간섭계 불확도 분석
저자
배재석, 진종한
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