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Approaching the quantum-limited precision in frequency-comb-ba
sed spctral interferometric ranging
저자
안흘비
논문
[한국반도체학술대회] 첨단 반도체, 디스플레이 공정을 위한 초분광 간섭계 기반 고속 두께 및 형상 측정 기술
저자
안흘비, 박정재, 진종한
논문
Thin Film Thickness Analysis Using a Deep Learning Algorithm with a Consideration of Reflectance Flu
저자
이준영
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