산업용 부품의 형상 정밀도는 제품 성능과 공정 안정성에 직접적인 영향을 미치기 때문에, 비접촉 방식으로 표면 형상을 신속하고 정량적으로 측정하는 기술이 요구된다. 특히, 광삼각법 기반의 3D 스캐너를 이용한 형상 프로파일링 기술은 로봇 기반 자동화 시스템과 결합되어 대면적 구조물 형상을 빠르게 측정할 수 있어 산업 현장에서의 활용성이 높다. 본 발표에서는 3D 스캐너를 이용한 CO2 용접부 형상 검사, 차량용 헤드 램프 변형 검사, 타이어 자동 장착용 휠/너트 상태 측정 등과 같은 자사 연구개발 사례들을 소개한다. 그러나, 이와 같은 3D 스캐너 기반 센서들은 대면적 측정이 가능한 반면 수십 ㎛ 수준의 측정 정밀도를 갖는 것이 일반적이며, 이는 반도체/디스플레이와 같은 첨단 산업 분야에서의 검사계측 수요를 감당하기에는 한계가 있다. 이를 위해 자사에서는 고분해능/고속 분광기 기반의 분광간섭계를 이용한 고정밀 표면 형상 측정 센서를 개발하였으며, 해당 센서를 이용하여 웨이퍼 가공용 진공 척 범프 형상 측정을 수행하였다. 참고로, 진공 척의 범프 형상은 웨이퍼 평탄도 및 진공 흡착 안정성을 확보하는 데 매우 중요한 검사계측 항목이다. 이와 같이, 산업용 부품의 형상 측정을 위해 개발된 두 기술은 측정 영역 및 측정 분해능에 있어서 각기 장단점을 가지고 있기 때문에, 향후 상호 보완적으로 활용하게 되면 산업적으로 활용성이 높은 통합 광계측 센서로 확장하여 응용이 가능할 것으로 기대한다.
