2026년 4월 24일, 진종한 박사(CTO, 총괄연구개발이사)는 일본 국립표준연구소 NMIJ/AIST(National Metrology Institute of Japan, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology)에서 ‘첨단 공정을 위한 광계측 기술(Optical Metrology for Advanced Manufacturing)’을 주제로 약 1시간 30분 동안 기술 세미나를 진행하였습니다.
NMIJ는 일본 산업기술총합연구소(AIST) 산하의 국가측정표준기관으로, 일본의 측정 표준을 개발·유지·보급하고 첨단 측정 기술을 연구개발하는 역할을 수행하고 있습니다. NMIJ는 공학 측정, 물리 측정, 재료·화학 측정, 측정·분석 계측 등 다양한 분야의 연구 조직을 갖추고 있으며, 산업 과학기술의 기반이 되는 정밀 측정 인프라를 담당하고 있습니다.
2025년 7월에 이어 두 번째로 진행된 이번 세미나에는 NMIJ의 길이 표준 그룹과 나노 형상 측정 그룹 연구진 다수가 참석해 높은 관심을 보였습니다. 발표에서는 미터랩이 수행 중인 다양한 연구 활동과 실제 산업 현장 적용 사례가 소개되었습니다.
특히 진종한 박사는 미터랩의 신규 고분해능 고속 분광기를 활용하여 측정 영역을 확장하고 측정 속도를 향상한 연구 결과를 공유하였습니다. 이 기술은 실리콘 웨이퍼의 두께, 굴절률, 표면 형상을 동시에 측정하는 것을 목표로 하며, 분광 간섭계를 통해 최대 10 mm의 측정 영역과 40 kHz의 측정 속도를 달성한 사례가 소개되었습니다. 또한 이를 구현하기 위한 분광 모듈 설계, 검출기 회로 설계 및 제작, 제어 기술, 실시간 분석 기술에 대해서도 함께 다루었습니다.
이와 함께 첨단 공정에서 활용이 확대되고 있는 거친 표면의 기능성 박막에 대한 분석 사례도 소개되었습니다. 기존의 모델 기반 분석법으로 해석이 어렵거나 불가능한 경우에 대해, 딥러닝 기법을 활용하여 문제를 해결한 접근법을 공유하였습니다. 발표에서는 학습 데이터 준비, 딥러닝 알고리즘 구조 설계, 성능 검증 전략 등이 구체적으로 다루어졌습니다.
세미나 중에는 30분 이상 활발한 질의응답이 이어졌으며, 특히 광학계 최적화와 딥러닝 기반 측정 결과의 불확도 평가 등에 대한 심도 있는 논의가 이루어졌습니다. 이번 세미나는 미터랩의 첨단 광계측 기술과 연구 경험을 일본의 측정 전문 연구진과 공유하고, 상호 기술적 안목을 나누는 뜻깊은 시간이었습니다. 앞으로도 미터랩은 국내외 측정 전문 과학자들과의 지속적인 교류를 통해 정밀 광계측 기술의 산업적 활용 가능성을 넓혀가고자 합니다.
