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제품 비접촉 두께 센서 t-Nova-SDI
t-Nova-SDI

두께와 굴절률 측정을 위한 초고속 광간섭 센서

  • 두께와 굴절률 동시 측정
  • 투과 방법의 측정으로 반사 방법 대비 다양한 환경 (표면 상태, 진동 등) 에서도 측정 가능
  • 고속 (40 kHz) 및 고 정밀 (100 nm) 측정
  • 다양한 재질의 기판 측정 (유리, 실리콘 웨이퍼 등)
제품 문의
070-7122-2000
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  • 측정





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  • 측정

제품 상세 스펙

제품 상세 스펙
작동 파장 범위 1500 nm - 1600 nm
두께 측정 분해능 <10 nm, 굴절률: 10^-3
두께 측정 범위 0.1 mm - 4.0 mm (일반 유리 기준)
측정 속도 40 kHz (최대)
측정 허용 각도 <±5º
표준 시편 KRISS 표준 두께 시편 제공

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