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제품 비접촉 두께 센서 t-Nova-850/1550TN
t-Nova-850/1550TN

두께와 굴절률 측정을 위한 초고속 광간섭 센서

  • 두께와 굴절률 동시 측정
  • 투과 방법의 측정으로 반사 방법 대비 다양한 환경 (표면 상태, 진동 등)에서도 측정 가능
  • 고속 (＜250 kHz) 및 고정밀 (＜10 nm) 측정
  • 다양한 재질의 기판 측정 (유리, 실리콘 웨이퍼 등)
제품 문의
070-7122-2000
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제품 상세 스펙

제품 상세 스펙
작동 파장 범위 750 nm - 950 nmㅤ/ㅤ1490 nm - 1610 nm
두께 측정 분해능 <10 nm, 굴절률: 10^-3
두께 측정 범위 (일반 유리 기준) 6 μm - 1.2 mm / 20 μm - 3 mm
최대 측정 속도 250 kHz / 40 kHz
측정 허용 각도 <±5º
측정 원리 분광 간섭계
표준 시편 KRISS 표준 두께 시편 제공

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