t-Nova-SDI 1550
두께와 굴절률 측정을 위한 초고속 광간섭 센서
제품 비접촉 두께 센서 t-Nova-SDI 1550
- 두께와 굴절률 동시 측정
- 투과 방법의 측정으로 반사 방법 대비 다양한 환경 (표면상태, 진동 등)에서도 측정 가능
- 고속(15 kHz) 및 고 정밀(100 nm) 측정
- 다양한 재질의 기판 측정 (유리, 실리콘 웨이퍼 등)
-
외부 구조 -
측정 -
측정 -
측정
제품 상세 스펙
| 작동 파장 범위 | 1500 nm - 1600 nm |
|---|---|
| 두께 측정 분해능 | <10 nm, 굴절률: 10^-3 |
| 두께 측정 범위 | 0.1 mm - 2.0 mm (일반 유리 기준) |
| 측정 속도 | 15 kHz (최대) |
| 측정 허용 각도 | <±5º |
| 표준 시편 | KRISS 표준 두께 시편 제공 |
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TEL : 070-7122-2000 FAX : 070-7159-1353 E-MAIL : info@meter-lab.com
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