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- 분광기
  
  s-Nova-850
  
  초고속 두께 측정이 가능한 분광기
- 비접촉 두께 센서
  
  t-Nova-850/1550TN
  
  두께와 굴절률 측정을 위한 초고속 광간섭 센서
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- 분광반사계
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